据国外媒体报道，在德国微电子研究工厂(FMD)的支持下，来自弗劳恩霍夫(Fraunhofer，Flawn)的科学家及其合作伙伴开发出了一种高分辨率广角激光雷达系统。原则上，这种系统由激光器、发射激光束的扫描仪和读取反射激光束的捕获光学元件组成，并且每个组件可以通过合适的电子接口彼此通信。
图片来源:Flawn Hoff
在这个项目中，费迪南德·布劳恩研究所提供了一个脉冲激光源，包括控制电子设备；Flawn的Fraunhofer微电子电路和系统研究所(IMS)开发了一种带有预处理电子设备的捕获光学设备。Flawn的Fraunhofer硅技术研究所(ISIT)生产MEMS扫描仪。ISIT的子公司OQmented将上述组件集成为一个完整的系统。
激光扫描仪采用MEMS技术(微芯片制造工艺)，在佛罗里达州霍夫ISIT制造。为了开发一种合适的MEMS扫描仪，ISIT科学家优化了扫描仪的驱动，使MEMS反射镜具有大的偏转角度和180°的视野。此外，科学家们还改进了模块设计，以避免这些大角度的机械应力，从而提高使用寿命和可靠性。而且，科学家们还详细研究了MEMS反射镜在冲击或振动下的力学行为，以确保实际应用场景中的力学稳定性。最后，科学家将圆顶形玻璃盖安装在MEMS镜子上。这种玻璃圆顶既能保护设备不受环境影响，又能保证设备的高光学质量。
新的MEMS扫描仪非常坚固，并且具有大的扫描角度、高的机械强度和稳定的耐用性。项目合作伙伴已经在2021年夏天完成了完整的激光雷达系统，并测试了其性能。
1据国外媒体报道，在德国微电子研究工厂(FMD)的支持下，来自弗劳恩霍夫(Fraunhofer，Flawn)的科学家及其合作伙伴开发出了一种高分辨率广角激光雷达系统。原则上，这种系统由激光器、发射激光束的扫描仪和读取反射激光束的捕获光学元件组成，并且每个组件可以通过合适的电子接口彼此通信。
图片来源:Flawn Hoff
在这个项目中，费迪南德·布劳恩研究所提供了一个脉冲激光源，包括控制电子设备；Flawn的Fraunhofer微电子电路和系统研究所(IMS)开发了一种带有预处理电子设备的捕获光学设备。Flawn的Fraunhofer硅技术研究所(ISIT)生产MEMS扫描仪。ISIT的子公司OQmented将上述组件集成为一个完整的系统。
激光扫描仪采用MEMS技术(微芯片制造工艺)，在佛罗里达州霍夫ISIT制造。为了开发一种合适的MEMS扫描仪，ISIT科学家优化了扫描仪的驱动，使MEMS反射镜具有大的偏转角度和180°的视野。此外，科学家们还改进了模块设计，以避免这些大角度的机械应力，从而提高使用寿命和可靠性。而且，科学家们还详细研究了MEMS反射镜在冲击或振动下的力学行为，以确保实际应用场景中的力学稳定性。最后，科学家将圆顶形玻璃盖安装在MEMS镜子上。这种玻璃圆顶既能保护设备不受环境影响，又能保证设备的高光学质量。
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