据外媒报道，法国CEA Leti实验室的科学家和米兰理工大学的研究人员共同开发了世界上第一个高性能陀螺仪，该陀螺仪支持在工业、航空设备和汽车等恶劣环境中的操作。研究小组表示，这一突破证明了在系统振动中可以检测到微小的动态旋转。惯性传感器在日常生活中很常见，旨在满足日益增长的小型化、成本、性能和耐用性的需求。在一些汽车、工业和军事应用中，陀螺仪必须能够在受到强烈和连续振动的环境中检测到每小时一度的变化。
低功率MEMS陀螺仪由于其面积小、功耗低，能够监测和控制设备的位置、定向、方向、角运动和旋转，因此被广泛应用于多个领域。陀螺仪可以集成到汽车中，通过电子稳定性控制系统来提高车辆的稳定性。它还可以用于无人驾驶汽车的航位推算，并且可以在不需要天文观测的情况下确定汽车、船只或飞机的位置。此外，它还可以集成到智能手机中，以检测单元转角和旋转，以及在禁用GPS时的室内导航和混合现实功能。陀螺仪需要在指定的谐振频率下工作，寄生机械振动很少超过40kHz。如今，还没有谐振频率大于20kHz的高性能MEMS陀螺仪。当频率接近环境振动的频率时，机械干扰最终会导致测量失真。CEA Leti的研究人员与米兰理工学院合作开发了一种工作频率为50 kHz的陀螺仪，可以克服上述失真。这种陀螺仪的工作频率是传统MEMS陀螺仪的两倍多，超过了恶劣的汽车、工业和航空环境中的常见振动频率。
该研究团队在《IEEE传感器2020》杂志上发表了一篇论文，指出：尽管各种应用需要提高对超过20kHz振动的鲁棒性，但频率的增加可能会导致性能下降，因此即使是最先进的陀螺仪，其工作频率仍接近该频率值。研究表明，基于NEMS的陀螺仪可以在更大的工作频率下工作。。。考虑到占用面积和功耗，它们在噪声、稳定性和杂散模式方面也有出色的性能。CEA Leti的MEMS业务开发经理兼高级专家Philippe Robert说， “为了确保在不降低传感器性能的情况下提高陀螺仪的工作频率，CEA Leti和POLIMI的研究人员用超灵敏压阻纳米计取代了MEMS陀螺仪的电容检测。这种新型1.5mm？高频陀螺仪受到多项专利保护，在偏置、噪声、线性等方面超过了现有技术新型陀螺仪已在CEA-Leti的硅实验生产线上生产，与大多数MEMS铸造厂的工艺兼容。其制造基于M&NEMS技术平台，该平台允许根据需要将陀螺仪与3轴加速度计和/或高性能压力传感器集成在单个芯片上。
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